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服務(wù)時(shí)間
比利時(shí)LMS International公司及納米級(jí)振動(dòng)傳感器產(chǎn)品介紹
2025-05-23
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        LMS International(現(xiàn)為Siemens Digital Industries Software旗下品牌)成立于1976年,總部位于比利時(shí)魯汶(Leuven),是噪聲與振動(dòng)測(cè)試(NVH)、結(jié)構(gòu)動(dòng)力學(xué)分析機(jī)電系統(tǒng)仿真領(lǐng)域的全球領(lǐng)導(dǎo)者。2012年,LMS被西門(mén)子收購(gòu),其技術(shù)整合至西門(mén)子數(shù)字化工業(yè)軟件解決方案中。

核心技術(shù)與應(yīng)用領(lǐng)域

  • 高精度振動(dòng)/聲學(xué)傳感器:納米級(jí)分辨率,適用于超精密測(cè)量

  • 測(cè)試與仿真軟件:LMS Test.Lab、LMS SCADAS硬件平臺(tái)

  • 行業(yè)應(yīng)用:航空航天、汽車(chē)NVH、微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)、精密制造



LMS納米級(jí)振動(dòng)傳感器產(chǎn)品型號(hào)整理

LMS的納米級(jí)振動(dòng)傳感器主要用于超精密機(jī)械、光學(xué)平臺(tái)、半導(dǎo)體設(shè)備的微振動(dòng)監(jiān)測(cè),分辨率達(dá)亞納米級(jí)(<1nm)。

1. 核心型號(hào)(按測(cè)量原理分類(lèi))

(1) 激光多普勒 vibrometer(非接觸式)

型號(hào)量程分辨率帶寬特點(diǎn)
LMS LDV-100±1mm0.1nm0-25kHz單點(diǎn)測(cè)振,光學(xué)隔離設(shè)計(jì)
LMS LDV-200±5mm0.05nm0-50kHz高頻響應(yīng),適用于MEMS器件

(2) 電容式位移傳感器(接觸式)

型號(hào)量程分辨率線性度
LMS CDS-10±100μm0.5nm±0.1% FS
LMS CDS-20±500μm1nm±0.05% FS

(3) 壓電式加速度計(jì)(超微型)

型號(hào)靈敏度頻率范圍重量
LMS PA-1N100mV/g0.1-10kHz0.5g
LMS PA-0.5N500mV/g0.5-8kHz0.2g

2. 特殊應(yīng)用型號(hào)

(1) 三向納米振動(dòng)傳感器

型號(hào)測(cè)量維度適用場(chǎng)景
LMS 3D-NV100X/Y/Z光學(xué)平臺(tái)隔振評(píng)估
LMS 3D-NV200X/Y/Z+旋轉(zhuǎn)半導(dǎo)體光刻機(jī)振動(dòng)分析

(2) 高溫/真空環(huán)境型號(hào)

型號(hào)環(huán)境適應(yīng)性
LMS LDV-100HT-40°C ~ +300°C
LMS CDS-10VAC真空兼容(10^-6 mbar)

3. 配套系統(tǒng)組件

型號(hào)/名稱(chēng)功能
LMS SCADAS Mobile便攜式數(shù)據(jù)采集前端
LMS Test.Lab振動(dòng)分析與模態(tài)測(cè)試軟件
LMS CAL-NANO納米級(jí)校準(zhǔn)系統(tǒng)(NIST可溯源)

技術(shù)亮點(diǎn)

  1. 亞納米分辨率:激光干涉技術(shù)確保0.05nm精度

  2. 抗干擾設(shè)計(jì)

    • 主動(dòng)隔振光學(xué)臺(tái)兼容(ISO Class 1潔凈室標(biāo)準(zhǔn))

    • 電磁屏蔽(EMC/EMI認(rèn)證)

  3. 智能分析

    • 實(shí)時(shí)FFT/階次分析

    • 與西門(mén)子Simcenter 3D軟件無(wú)縫集成


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更詳細(xì)的技術(shù)資料需通過(guò)提供項(xiàng)目詳情獲取,歡迎咨詢(xún)。

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