品介紹&pic=http://www.5577euou.cn/upload/images/site/20240521/17162563772507049.png)
表面與輪廓測量
原子力顯微鏡（AFM）
觸針式輪廓儀（Dektak XT 系列）
光學(xué)輪廓儀（白光干涉儀）
分子與材料分析
X射線衍射（XRD）、拉曼光譜
生命科學(xué)儀器
質(zhì)譜儀、核磁共振（NMR）
Dektak XT 是 Bruker 的 高精度觸針式表面輪廓儀，用于測量表面粗糙度、臺階高度、薄膜厚度等，廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、光學(xué)、光伏和材料科學(xué)研究。
| 型號 | 垂直分辨率 | 水平分辨率 | 最大掃描長度 | 觸針力范圍 | 典型應(yīng)用 |
|---|---|---|---|---|---|
| Dektak XT-E | 0.1 ? | 0.5 μm | 55 mm | 1–15 mg | 半導(dǎo)體晶圓、MEMS 器件 |
| Dektak XT-S | 1 ? | 1 μm | 110 mm | 1–30 mg | 光學(xué)涂層、金屬表面粗糙度 |
| Dektak XT-U | 0.5 ? | 0.25 μm | 200 mm | 0.5–20 mg | 超光滑表面（如硬盤、藍(lán)寶石） |
| Dektak XT-L | 2 ? | 2 μm | 300 mm | 5–50 mg | 大型樣品（光伏面板、顯示屏） |
非破壞性測量：超低觸針力（最小 0.5 mg）避免樣品損傷。
高分辨率：垂直分辨率最高達(dá) 0.1 ?（XT-E），接近原子級精度。
自動化功能：可選 自動樣品臺、多區(qū)域掃描 和 3D 映射。
軟件支持：
Vision64：數(shù)據(jù)采集與分析軟件，支持 ISO/ASME 粗糙度標(biāo)準(zhǔn)。
MapSuit：3D 表面形貌重建。
環(huán)境控制模塊
真空吸附臺：減少振動干擾（適用于納米級測量）。
溫控樣品臺：-20°C 至 +150°C 溫度范圍內(nèi)測試。
特殊觸針
鉆石針尖：用于硬質(zhì)材料（如陶瓷、金屬）。
聚合物針尖：避免軟材料（如聚合物、生物樣品）劃傷。
光學(xué)輔助系統(tǒng)
集成顯微鏡：精確定位測量區(qū)域。
半導(dǎo)體制造：
晶圓表面平整度、光刻膠厚度測量
光學(xué)工業(yè)：
透鏡/反射鏡的粗糙度與臺階高度分析
材料科學(xué)：
薄膜涂層、納米結(jié)構(gòu)的形貌表征
質(zhì)量控制：
汽車零部件、醫(yī)療器械的表面缺陷檢測
Dektak XT 系列 是 Bruker 在 接觸式輪廓測量 領(lǐng)域的標(biāo)桿產(chǎn)品，覆蓋從 亞埃級（0.1 ?） 到 宏觀尺寸（300 mm） 的測量需求。
通過 模塊化設(shè)計(jì) 滿足不同行業(yè)需求，尤其適合 高精度、小尺寸樣品 的表面分析。
（注：1 ? = 0.1 nm；觸針力單位：mg = 毫克。）
其他注意事項(xiàng)：
更詳細(xì)的技術(shù)資料需通過提供項(xiàng)目詳情獲取，歡迎咨詢。
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