Bronkhorst 是一家全球領(lǐng)先的流體測(cè)量與控制技術(shù)公司，成立于1981年，總部位于德國(guó)魯爾蒙德（Ruhrort）。公司專注于質(zhì)量流量計(jì)（MFM）、質(zhì)量流量控制器（MFC）、壓力控制器（PC）和蒸發(fā)系統(tǒng)，產(chǎn)品廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、化工、制藥、能源和科研領(lǐng)域。

核心技術(shù)優(yōu)勢(shì)

  熱式質(zhì)量流量測(cè)量（基于恒溫差原理，直接測(cè)量氣體質(zhì)量流量）。

  壓電式流量控制（高精度、低流量控制）。

  模塊化設(shè)計(jì)，支持多種通信協(xié)議（如 RS-232、PROFIBUS、EtherCAT）。

MASS-STREAM? D-6300（微型熱式流量計(jì)）產(chǎn)品:

MASS-STREAM? D-6300 是 Bronkhorst 的微型熱式質(zhì)量流量計(jì)（MFM）系列，專為小流量氣體測(cè)量設(shè)計(jì)，適用于實(shí)驗(yàn)室、半導(dǎo)體工藝和醫(yī)療設(shè)備。

1. 標(biāo)準(zhǔn)型號(hào)與參數(shù)

型號(hào)            量程范圍         精度        重復(fù)性           接口                      典型應(yīng)用

D-63010…5 mln/min        ±1% RD   ±0.2% RDRS-232, Analog      實(shí)驗(yàn)室氣體分析

D-63050…50 mln/min±1% RD        ±0.2% RDRS-485, Modbus       半導(dǎo)體工藝氣體監(jiān)控

D-63100…100 mln/min±1% RD        ±0.2% RDEtherCAT               醫(yī)療呼吸設(shè)備校準(zhǔn)

D-63200…200 mln/min±1% RD        ±0.2% RDPROFIBUS-DP       工業(yè)氣體混合系統(tǒng)

關(guān)鍵特性

  測(cè)量原理：熱式（恒溫差法），直接輸出質(zhì)量流量（無需溫壓補(bǔ)償）。

  響應(yīng)時(shí)間：< 1 秒（T90）。

  材料兼容性：316L 不銹鋼、哈氏合金（可選），支持腐蝕性氣體（如 Cl?、HF）。

  防護(hù)等級(jí)：IP65（防塵防水）。

2. 定制化選項(xiàng)

    特殊氣體校準(zhǔn)（如 H?、He、Ar、N?O）。

    防爆認(rèn)證（ATEX、IECEx）。

    集成壓力傳感器（可選 ±0.1 bar 補(bǔ)償）。

配套設(shè)備與軟件

  .FLOWDIGITAL 軟件

        用于流量計(jì)配置、數(shù)據(jù)記錄和實(shí)時(shí)監(jiān)控。

  .多通道流量控制系統(tǒng)

        支持 D-6300 系列 + EL-FLOW? 控制器 構(gòu)建復(fù)雜氣路。

應(yīng)用場(chǎng)景

半導(dǎo)體制造：CVD/ALD 工藝氣體流量控制。

醫(yī)療設(shè)備：麻醉機(jī)、呼吸機(jī)的氣體流量監(jiān)測(cè)。

能源研究：燃料電池氫氣流量測(cè)量。

實(shí)驗(yàn)室：微型反應(yīng)器氣體配比。

總結(jié)

.MASS-STREAM? D-6300 系列是 Bronkhorst 針對(duì)微小氣體流量的高精度解決方案，覆蓋從實(shí)驗(yàn)室到工業(yè)的多種需求。

.標(biāo)準(zhǔn)型號(hào)涵蓋 5–200 mln/min 量程，支持主流通信協(xié)議，并可定制氣體類型和接口。

（注：mln/min = 毫升標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)/分鐘，RD = 讀數(shù)百分比。）

其他注意事項(xiàng)：

更詳細(xì)的技術(shù)資料需通過提供項(xiàng)目詳情獲取，歡迎咨詢。

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