日本 Rorze 是全球領(lǐng)先的半導(dǎo)體晶圓傳輸機械手（Wafer Handling Robot）廠家，其產(chǎn)品廣泛應(yīng)用于大氣（Atmospheric） 和真空（Vacuum）環(huán)境下的晶圓搬運。以下是 Rorze 主要的晶圓傳輸機械手型號及其特點：
1. 大氣機械手（常壓環(huán)境晶圓搬運機器人）
適用于 潔凈室環(huán)境，主要用于晶圓搬運、檢測、分選等制程。
（1）RF / RFA 系列（通用型）
- RF-2000 / RF-3000
- 適用于200mm / 300mm 晶圓傳輸。
- 高精度（±0.1mm）、高速（1-2s/cycle）。
- 用于半導(dǎo)體前道（如光刻、刻蝕）和后道（封裝、測試）。
- RFA-200 / RFA-300
- 升級版，優(yōu)化 加速度和穩(wěn)定性。
- 適用于 高產(chǎn)能FAB廠。
（2）RGV / RGA 系列（高負載型）
- RGV-300
- 適用于 300mm 晶圓，支持多片搬運（如 2~4 片）。
- 用于 CMP（化學(xué)機械拋光）、Metrology（量測） 設(shè)備。
2. 真空晶圓機械手（真空環(huán)境晶圓搬運機器人）
適用于高真空（HV）、超高真空（UHV）環(huán)境，如 PVD、CVD、Etch 等制程。
（1）RV 系列（標準真空）
- RV-3 / RV-4
- 適用于 300mm / 450mm 晶圓（部分型號支持）。
- 真空等級 10?? ~ 10?? Torr。
- 用于 刻蝕（Etch）、薄膜沉積（CVD/PVD）。
（2）RVV 系列（超高真空 & 抗腐蝕）
- RVV-300
- 適用于 腐蝕性氣體環(huán)境（如 等離子體刻蝕）。
- 采用 特殊涂層（Al?O?、Y?O?） 防污染。
（3）RVM 系列（磁懸浮驅(qū)動）
- RVM-300
- 采用 磁懸?。∕agnetic Levitation）技術(shù)，無接觸磨損。
- 超高精度（±0.05mm），壽命更長。
- 用于 EUV 光刻、先進封裝。
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3. 特殊應(yīng)用機械手
（1）RHT 系列（高溫環(huán)境）
- 適用于 高溫（200°C+） 制程，如 退火（Annealing）、擴散（Diffusion）。
（2）RCD 系列（協(xié)作機器人）
- 用于 AMHS（自動物料搬運系統(tǒng)），與 OHT（Overhead Hoist Transport） 配合使用。
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4. 如何選型？
| 需求 | 推薦型號 |
|----------|-------------|
| 200mm 大氣搬運 | RF-2000 / RFA-200 |
| 300mm 高產(chǎn)能FAB | RFA-300 / RGV-300 |
| 真空刻蝕 / CVD | RV-3 / RVV-300 |
| EUV / 先進封裝 | RVM-300 |
| 高溫制程 | RHT-300 |
其他型號：
RR756L15
RR757L15
RR759L27
RR481L200
RR481L230
RR481L300
RR491L300
RR492L400
RR493L180
RR493L200
RR493L230
RR493L300
RA320-C22-L
RA320-822-W
RA321-C0C-BW
RA420-6CV-L
RA420-48V-L
RV201-F07-0
RV201-F07-C
RV201-F07-G
RV201-F07-N
RV201-F07-T
PLVS
ACE EFEM
ACE SORTER
N2-BWS
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